Chipmachinefabrikant ASML en onderzoeksinstituut FOM bundelen hun krachten in een nieuw onderzoeksinstituut. Het Advanced Research Institute for Nanolithography (ARCNL) hoopt de komende jaren de chipmakerij naar een nieuw niveau te tillen.


Een elektronenmicroscoop wordt het eerste nieuwe lab binnengereden. Credit: Joost Frenken, via Twitter

Op de rijk aangeklede opening bij het Amsterdamse Science Park verwelkomt een blazersband van het conservatorium de onderzoekers en hoogwaardigheidsbekleders. Ze zijn hier om hun toekomstige werkplek of het resultaat van een investering te bezichtigen. Begin dit jaar namen chipmachinefabrikant ASML en natuurwetenschapfinancier FOM zich voor om een onderzoeksintituut te starten dat al het talent zou aantrekken. Iets met meer allure dan een publiek gesubsidieerd lab of resultaatgerichte bedrijfstak. Nog geen jaar later is een oud pand op het Science Park van binnen helemaal opnieuw ingericht en kan het onderzoek bij ARCNL van start gaan.

Tijdens de opening legt directeur Joost Frenken nog eens uit waar het om draait. De chips worden steeds kleiner en er moet steeds meer op. Daarvoor zijn machines nodig die steeds meer kunnen. Bij ASML maken ze die machines, die met extreem ultraviolet licht (EUV) chips maken met componenten van slechts een paar nanometer groot. Belangrijk voor kleinere smartphones en snellere computers.
 
ARCNL is een project in ontwikkeling, wat betekent dat nog niet helemaal duidelijk is wat er gaat gebeuren. Wel zijn er al een paar onderzoeksgroepen zeker van een plekje. Veel van hen onderzoeken dat EUV, licht met een golflengte kleiner dan 13,5 nanometer. Het is fragiel en kan al door een enkel zuurstofdeeltjes in de lucht worden verstrooid. Dat betekent onder andere dat binnenin de EUV-chipmachines een vacuüm moet heersen, maar ook dat lenzen vervangen moeten worden door spiegels. Onderzoek zal zich onder andere richten op het minimaliseren van het lichtverlies door die spiegels.
 
De sprekers voorafgaand aan de opening zijn het over één ding eens: het is een mooi voorbeeld van de samenwerking tussen industrie en wetenschap. Hoewel ARCNL ook een experiment is; zelden investeerde een private partij zoveel geld in fundamentele wetenschap. Dat dat nu wel gebeurt, is ook volgens staatssecretaris OCW Sander Dekker belangrijk. 'Wetenschap is een van de weinige dingen die mensen vooruitbrengt, het leven beter en aangenamer maakt,' poneerde hij tijdens zijn speech. ASML en de publieke partijen (een hele rits onderzoeksinstituten en universiteiten) dragen allebei de helft van de kosten.
 
Het lab werd geopend door een laser in plaats van een man met schaar; precies de high-tech waar ARCNL voor wil staan. Tijdens de rondleiding wordt duidelijk dat er nog een en ander te doen is; slechts één ruimte is ingericht, met een gigantische elektronenmicroscoop met een leeskop die individuele atomen kan zien. In de rest van de kamers staan alleen nog lege kasten, maar de onderzoeker belooft ons dat er straks tientallen lasers staan. Allemaal om de natuurkunde achter nanolithografie te begrijpen. En, uiteindelijk, ook ASML te helpen om de volgende generatie chipmachines te bouwen.