De door TNO ontwikkelde techniek van Spatial ALD smeert de depositie niet uit in de tijd, maar ruimtelijk. In een afgesloten kamer beweegt de injector met de ene grondstof over het substraat heen, stikstofinjectie zorgt voor een denkbeeldig gordijn waarna de injector met een tweede grondstof volgt. Dat gordijn moet er voor zorgen dat de verschillende grondstoffen alleen met elkaar reageren als ze een laagje vormen.